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精確的壓力控制能改善真空鍍膜效果

艾里卡特MCE系列和MCV系列直接替代通用型工業(yè)用質(zhì)量流量控制器。

MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器可用來替換傳統(tǒng)和已停產(chǎn)的MKS設(shè)備。MCE系列和MCV系列產(chǎn)品按照通用的工業(yè)用質(zhì)量流量控制器尺寸設(shè)計(jì),易于集成在現(xiàn)有系統(tǒng)中。在使用中,MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器可快速、精確地控制流量,從而保障工藝均勻性和工序質(zhì)量。

艾里卡特MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器以50~100毫秒的控制響應(yīng)速度精確地控制氣體流量,量程范圍為0-0.5 sccm(滿量程)至0-20 slpm(滿量程)??焖俚目刂祈憫?yīng)可以大大改善真空鍍膜最終產(chǎn)品質(zhì)量,并且有助于消除靶中毒。集成式氣動切斷閥為常閉狀態(tài),可提供氦氣泄漏率僅為1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切斷。

MCE系列質(zhì)量流量控制器用于取代MKS傳統(tǒng)型號1179A Mass-Flo?,而MCV系列質(zhì)量流量控制器則用于取代MKS已停產(chǎn)的型號2179A Mass-Flo?的。艾里卡特質(zhì)量流量控制器均采用12-30伏通用電源適配器供電。此外,艾里卡特質(zhì)量流量控制器的通訊接口可與所有現(xiàn)有的9針或15針D-sub引腳相匹配,從而方便用戶進(jìn)行替換。艾里卡特質(zhì)量流量控制器可被任意方向安裝,甚至倒置,不需要進(jìn)行再次校準(zhǔn),因此大大簡化了安裝過程。

預(yù)設(shè)了98種常用氣體的MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器內(nèi)預(yù)設(shè)了98種可以測量質(zhì)量流量、體積流量、以及絕對壓力和溫度,并自帶溫度和壓力補(bǔ)償功能。用戶可通過質(zhì)量流量控制器自帶的顯示屏接輸入設(shè)定值,也可通過RS-232(或RS-485)串口通訊進(jìn)行遠(yuǎn)程設(shè)定。

MCE系列和MCV系列質(zhì)量流量控制器采用的艾里卡特專利的層流壓差技術(shù),具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書以及CE認(rèn)證。


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